मल्टी क्रिस्टल टेक्सचरिंग सिस्टम

हम अपने मूल्यवान ग्राहकों को उत्कृष्ट गुणवत्ता वाले मल्टी क्रिस्टल टेक्सचरिंग सिस्टम की पेशकश करने में लगे हुए हैं। प्रक्रिया के चरण: - a c टेक्सचरिंग (HF/HNO3) a c di कुल्ला a c पोरस सिलिकॉन रिमूवल (एम्बिएंट KOH) a c di कुल्ला a c नेटिव ऑक्साइड/मेटल रिमूवल (HF/HCL) a c di कुल्ला a c ड्रायिंग (हीटेड DI स्लो पुल और एयर नाइफ) उन्नत प्रक्रिया विकल्प: - a c आगे की बनावट के लिए अतिरिक्त प्रोसेस बाथ उपलब्ध हैं a c के लिए विकल्प हैं: HF/HNO3 टेक्सचरिंग, KOH/IPA, या NaOH a c टेक्सचरिंग बाथ SC-1, PV-160 बाथ (ECN) के साथ समाप्त होना चाहिए a c फॉस्फोरस डोपिंग के लिए हाइड्रोफिलिक सतह की आवश्यकता होती है मुख्य विशेषताएं: - एक सी कई रोबोटों के साथ उच्च थ्रूपुट, 1500 से 3000 वेफर्स प्रति घंटे a c 6 कैसेट इनपुट और आउटपुट के साथ स्वचालित स्टेजिंग a c स्वामित्व की कम लागत; विस्तारित स्नान जीवन, धोने के पानी का पुन: उपयोग a c वेफर थिकनेस मेट्रिक्स और सपोर्टिंग सॉफ्टवेयर के लिए इनपुट और आउटपुट स्केल a c मिनिमल वेफर ब्रेकेज (>500 में 1) a c स्नान प्रतिस्थापन के लिए न्यूनतम डाउनटाइम, (<1 घंटे का स्नान परिवर्तन) a c पीएच और तापमान जैसे बाथ मेट्रिक्स की निगरानी करना, साथ ही एक विकल्प के रूप में एकाग्रता a c प्रक्रिया सहायता प्रदान की गई, अनुकूलित टेक्सचरिंग और PSG हटाने की प्रक्रिया a c सेफ्टी को डिज़ाइन और बिल्ट-इन किया गया है; HF मॉनिटर, फायर सप्रेशन और SEMI सेफ्टी कंप्लेंट a c सॉफ्टवेयर SECS/GEM अनुरूप है a c सिस्टम SEMI S2 के अनुरूप है प्रक्रिया नियंत्रण: - a c एक्सेस कंट्रोल a c कार्यात्मक सुरक्षा के कई स्तर। a c डेटा लॉगिंग a c ऑपरेटर टूल इंटरैक्शन, सभी ईवेंट, अलार्म और चेतावनियों के लिए अलग-अलग दैनिक लॉग में विवरण डेटा लॉग किया जाता है। a c लॉट ट्रैकिंग लॉग फ़ाइलें