प्लानर स्पटरिंग उपकरण

उत्पाद सुविधाएँ: कैथोड आकार और प्रकार के चयन के साथ ज्यामिति को कम करें। MILMAN का अनोखा डिज़ाइन उच्च लक्ष्य उपयोग के लिए दुर्लभ अर्थ मैग्नेट के साथ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैथोड असेंबली बनाता है। स्पटरिंग के दौरान सटीक प्रोसेस प्रेशर कंट्रोल के लिए क्लोज्ड लूप प्रेशर कंट्रोल इलेक्ट्रॉनिक्स। प्रक्रिया स्थिरता के लिए सटीक द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक। रेसिपी प्रोग्रामिंग, अलार्म मैनेजमेंट और ट्रेंड्स/रिपोर्ट जनरेशन के साथ PLC/PC आधारित ऑटोमेशन को पूरा करें। क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंप आधारित सब्सट्रेट 250oC तक गर्म होता है। स्रोतों को सब्सट्रेट दूरी में बदलने के साथ-साथ 10-30 आरपीएम तक सबस्ट्रेट रोटेशन। धातु और इंसुलेटर दोनों को स्पटरिंग करने के लिए स्पंदित डीसी बिजली की आपूर्ति के साथ आरएफ और डीसी।