कन्फ़ोकल स्पटरिंग सिस्टम

उत्पाद की विशेषताएँ: परिपत्र मैग्नेट्रॉन कैथोड को कन्फोकल ज्यामिति में व्यवस्थित किया जाता है। कैथोड आकार और प्रकार की पसंद के साथ स्पटर डाउन कॉन्फ़िगरेशन। मिलमैन का अनोखा डिज़ाइन उच्च लक्ष्य उपयोग के लिए दुर्लभ पृथ्वी मैग्नेट के साथ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैथोड असेंबली बनाता है। सटीक प्रक्रिया दबाव नियंत्रण के लिए क्लोज्ड लूप प्रेशर कंट्रोल इलेक्ट्रॉनिक्स। प्रक्रिया की स्थिरता के लिए सटीक द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक। 600A C तक सबस्ट्रेट हीटिंग सब्सट्रेट दूरी के लिए स्रोतों के परिवर्तन के साथ 10-30 आरपीएम तक सब्सट्रेट रोटेशन। अनुरोध पर सबस्ट्रेट झुकाव प्रदान किया जा सकता है। आरएफ और डीसी के साथ-साथ धातु और इन्सुलेटर दोनों को स्पटरिंग करने के लिए स्पंदित डीसी बिजली की आपूर्ति। रेसिपी प्रोग्रामिंग, अलार्म मैनेजमेंट और ट्रेंड्स/रिपोर्ट जनरेशन के साथ PLC/PC आधारित ऑटोमेशन को पूरा करें।