मास्क Aligner-mda-60ms

मास्क एलाइनर-MDA-60MS की मुख्य मानक विशेषताएं निम्नलिखित हैं: - 1) सेमी ऑटो सिस्टम - ऑटो एक्सपोज़र, लेवलिंग और जेड एक्सिस स्टेज मोशन - मैनुअल एलाइनमेंट 2) पीसी और पीएलसी कंट्रोलर 3) बीम का आकार: 10.25 “x 10.25" 4) नमूना आकार: 156 x 156 मिमी 5) वेफर स्टेज: एक्स, वाई, जेड और आई 4 एक्सिस मोशन जेड, आई एक्सिस मोटराइज़ 6) मास्क और सैंपल का ऑटो लेवलिंग 7) मास्क का आकार: 9" x 9" तक 8) 1 किलोवाट यूवी पावर सप्लाई और 1 किलोवाट यूवी लैंप 9) ड्यूल सीसीडी जूम माइक्रोस्कोप और 19 “एलसीडी मॉनिटर 10) एंटी-वाइब्रेशन टेबल 11) ऑयल-लेस वैक्यूम पंप 12) आयाम (मिमी): 1400 मिमी* 1100 मिमी* 1532 मिमी [डब्ल्यू* डी* एच] सिस्टम विनिर्देशन 1) लाइट सोर्स मॉड्यूल - 1 किलोवाट यूवी लैंप और 1 किलोवाट बिजली की आपूर्ति - वेवलेंथ: एनयूवी 350 एनएम ~ 450 एनएम - 365 एनएम मैक्स। तीव्रता: अधिकतम> 30 मेगावाट/सेमी2 - मैक्स। बीम का आकार: 10.25" x 10.25" -बीम एकरूपता: ए 5% 2) माइक्रोस्कोप मॉड्यूल टॉप साइड माइक्रोस्कोप - ड्यूल सीसीडी जूम माइक्रोस्कोप - मैनुअल मूविंग स्टेज: X, Y, Z - ऑब्जेक्टिव स्पेसिंग: 60 ~ 200 - मूव रेंज: वाई एक्सिस ए 20 मिमी - 19" एलसीडी मॉनिटर - आवर्धन: 80x ~ 1000x - काम करने की दूरी: 86 मिमी/32 मिमी - देखने का क्षेत्र: 6,9 मिमी ~ 0.03 मिमी - क्षेत्र की गहराई: 2.98 मिमी ~ 0.03 मिमी 3) स्टेज और कंट्रोलर मॉड्यूल - एक्सपोज़र का समय: 1 ~ 999.9 सेकंड - स्टेज मूवमेंट: एक्स, वाई, जेड और थीटा एक्स, वाई: ए 5 मिमी, थीटा: ए 4 ए, जेड: 15 मिमी - एक्सपोज़र मोड वैक्यूम संपर्क प्रेशर कॉन्टैक्ट: हार्ड/सॉफ्ट निकटता का अंतर: 10 ~ 1000um - संरेखण सटीकता: टीएसए: <ए 1 उम (@ थिन पीआर 1.2um)