सिंगल क्रिस्टल टेक्सचरिंग मशीन

हम अपने मूल्यवान ग्राहकों को उत्कृष्ट गुणवत्ता वाली सिंगल क्रिस्टल टेक्सचरिंग मशीन की पेशकश करने में लगे हुए हैं। प्रोसेस स्टेप्स a c सॉ डैमेज रिमूवल (गर्म KOH) a c टेक्सचरिंग (KOH/IPA के साथ क्षारीय बनावट) a c di कुल्ला a c नेटिव ऑक्साइड/मेटल रिमूवल (HF/HCL) a c di कुल्ला a c ड्रायिंग (हीटेड DI स्लो पुल और एयर नाइफ) मुख्य विशेषताऐं एक सी कई रोबोटों के साथ उच्च थ्रूपुट, 1500 से 3000 वेफर्स प्रति घंटे a c 6 कैसेट इनपुट और आउटपुट के साथ स्वचालित स्टेजिंग a c स्वामित्व की कम लागत; विस्तारित स्नान जीवन, धोने के पानी का पुन: उपयोग a c वेफर थिकनेस मेट्रिक्स और सपोर्टिंग सॉफ्टवेयर के लिए इनपुट और आउटपुट स्केल a c मिनिमल वेफर ब्रेकेज (>500 में 1) a c स्नान प्रतिस्थापन के लिए न्यूनतम डाउनटाइम, (<1 घंटे का स्नान परिवर्तन) a c पीएच और तापमान जैसे बाथ मेट्रिक्स की निगरानी करना, साथ ही एक विकल्प के रूप में एकाग्रता a c प्रक्रिया सहायता प्रदान की गई, अनुकूलित टेक्सचरिंग और PSG हटाने की प्रक्रिया a c सेफ्टी को डिज़ाइन और बिल्ट-इन किया गया है; HF मॉनिटर, फायर सप्रेशन और SEMI सेफ्टी कंप्लेंट a c सॉफ्टवेयर SECS/GEM अनुरूप है a c सिस्टम SEMI S2 के अनुरूप है प्रोसेस कंट्रोल a c एक्सेस कंट्रोल a c कार्यात्मक सुरक्षा के कई स्तर। a c डेटा लॉगिंग a c ऑपरेटर टूल इंटरैक्शन, सभी ईवेंट, अलार्म और चेतावनियों के लिए अलग-अलग दैनिक लॉग में विवरण डेटा लॉग किया जाता है। a c लॉट ट्रैकिंग लॉग फाइलें a c कस्टम ट्रेस फ़ाइलें a c पकाने की विधि नियंत्रण a c पकाने की विधि का रखरखाव a c SECS-II GEM-अनुरूप होस्ट इंटरफ़ेस। a c विशेष सॉफ़्टवेयर या हार्डवेयर की आवश्यकता के बिना इन-फ़ैक्टरी नेटवर्क को एकीकृत करता है। a c संचार शुरुआत से ही उत्पाद लाइन का एक अनिवार्य हिस्सा रहा है.