नियंत्रकों के माध्यम से बाद के डिजिटलीकरण और रैखिकता के साथ एमईएमएस सेंसर (माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल-सिस्टम) के माध्यम से गुरुत्वाकर्षण क्षेत्र में झुकाव का पंजीकरण। एमईएमएस सेंसर सिलिकॉन बल्क माइक्रोमैकेनिकल तकनीक का उपयोग करके निर्मित एकीकृत सर्किट हैं। जंगम माइक्रोमैकेनिकल संरचनाओं की सहायता से दोहरी क्षमताएं बनती हैं। यदि इन संरचनाओं को त्वरण के मामले में विक्षेपित किया जाता है, उदाहरण के लिए गुरुत्वाकर्षण त्वरण (g), तो इसके परिणामस्वरूप क्षमता में परिवर्तन होता है, जो मापने की तकनीक का उपयोग करके पंजीकृत और आगे संसाधित होते हैं। आउटपुट वोल्टेज फ़ंक्शन U ~ g * sin alpha का अनुसरण करता है। इस मामले में, कोण अल्फा सेंसर का झुकाव कोण है जिसे जी-वेक्टर के खिलाफ मापा जाता है। ये सेंसर सटीक रूप से मापते हैं, लंबे समय तक सेवा करते हैं और बहुत मजबूत होते हैं। मापने वाले अक्ष एक दूसरे से स्वतंत्र रूप से काम करते हैं। IEC 61158/61784 या PNO विनिर्देशों के क्रम संख्या 2.712 और 2.722, संस्करण 2.3 के अनुसार प्रोफिनेट इंटरफ़ेस, इनक्लिनोमीटर श्रृंखला NBT में एकीकृत है। वास्तविक समय वर्ग 1 और 3 समर्थित हैं, अर्थात रियल टाइम (RT) और आइसोक्रोनस रियल टाइम (IRT) प्लस अनुरूपता वर्ग C. की आवश्यकताएं एकीकृत 2-गुना स्विच TWK PROFINET इनक्लिनोमीटर को सक्षम बनाता है स्टार, ट्री और लाइन नेटवर्क टोपोलॉजी में इस्तेमाल किया जा सकता है।