रिमोट सेम प्लाज्मा क्लीनर (Cif-sem) उपकरण सामग्री: स्टेनलेस स्टील

CIF रिमोट प्लाज्मा क्लीनर SEM या FIB इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप कक्षों में हाइड्रोकार्बन की सफाई के लिए उपयुक्त है। यह रिमोट और इन-सीटू दोहरे प्लाज्मा स्रोतों, उच्च दक्षता और थोड़ा प्लाज्मा बमबारी क्षति का उपयोग करके नमूनों को साफ करता है। फंक्शन और फीचर्स i) दोहरे प्लाज्मा सफाई स्रोत: इन-सीटू और रिमोट। i वन मशीन, बहुउद्देश्यीय। i तेज़ और अधिक कुशलता से। (i) कम नुकसान। प्लग-एंड-प्ले में। तकनीकी विनिर्देश माउंटिंग फ्लैंज: KF40 काम का दबाव: 0.3-3Pa आरएफ फ़्रिक्वेंसी: 13.56MHz मैचर: ऑटो मैचिंग आरएफ पावर: 5-100W स्टीप्लेस एडजस्टेबल गैस नियंत्रण: आर्गन गैस या O2 को इंजेक्ट करने के लिए दोहरे गैस प्रवाह नियंत्रक। डबल गैस मास फ्लो कंट्रोलर (MFC, 50 mL/min) परिवेश के तापमान और दबाव में बदलाव से प्रभावित हुए बिना, गैस प्रवाह को सटीक रूप से मापता है। गैस स्रोत: उपयोगकर्ताओं की मांग के अनुसार ऑक्सीजन, आर्गन, नाइट्रोजन, हाइड्रोजन और अन्य गैस का चयन किया जा सकता है। वैक्यूम कंट्रोल: MKS 925-12010 पिरानी वैक्यूम गेज, मापने की रेंज 1E-5 Torr वैक्यूम गेज और सोलनॉइड वाल्व सेफ्टी इंटरलॉक वैक्यूम इंटरलॉक: MKS डिजिटल वैक्यूम फ्लोमीटर और सोलनॉइड स्टॉप वाल्व के बीच सुरक्षा इंटरलॉक इंटरफ़ेस: 7a कलर टच स्क्रीन, मैन-मशीन इंटरैक्शन। बिजली की आपूर्ति: 220V, 50/60 हर्ट्ज, 300W वैकल्पिक सहायक उपकरण: H2, O2, N2 जनरेटर, H2 शुद्धता: 99.999%, आउटपुट प्रवाह: 0-300 मिलीलीटर/मिनट